| 产品特性：真空计 | 是否进口：是 | 原产国/地区：美国 |
| 加工定制：否 | 品牌：MKS | 型号：1579A01322LS1BN |
| 类型：差压式流量计 | 测量范围：1.0 x 10 -5至 1500 托m3/h | 适用介质：空气、氩气、氦气、氮气、H2、H2O 蒸气、CO2、氙气、氖气 |
| 工作压力：95MPa | 工作温度：0 - 40°℃ | 规格：901P-11030 |
| 差分测量范围：-760 至 +760 托 | 数字通信：RS232 | 模拟输出：1-9 VDC（每十年 1 VDC） |
| 模拟输出分辨率：16 位 | 可选模拟输出 2：5 VDC = 0 Torr，1 VDC/十年（压电差分） | 继电器触点额定值：1 A @ 30VAC/DC，电阻式 |
| 密封材料：氟橡胶 | 配件类型：NW16 ***-KF | 数字波特率：4800 - 230400 波特 |
| 超压限制：1500 托（值） |
MKS 是***生产工艺控制设备供应商之一，其产品广泛地应用于各种半导体器件、平板显示器、太阳能电池、LED、光学储存介质、玻璃镀膜、光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。MKS前瞻性的创新开发，推动其产发展。MKS的电源、测量、控制和复杂气体相关的工艺监控技术，改变了设备完好率和产品成品率，提高了产量和产品性能。MKS产品起源于MKS的压力和流量测量与控制核心技术，延伸到材料递送、气体成份分析、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术。
MKS 模块化真空传感器具有紧凑的尺寸，可显着降低安装成本。这些真空/压力表非常适合控制器尺寸和本地控制至关重要的应用。它们可用作具有模拟输出的压力传感器，或用作具有用于传输压力信号的数字通信的真空模块。
901P-11030 Micro Pirani-Piezo Loadlock 真空传感器结合了 Piezo 和 MicroPirani? 传感器技术，与传统的热导率计相比，具有显着更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。它具有 0.00001-1000 Torr 压力测量范围和大气切换，以及尺寸 NW16 ***-KF 法兰。它使用 RS232 数字通信接口来设置传感器参数并提供实时压力测量。
901P 专为真空负载锁内的压力测量而设计。它具有从大气压到 10 -5的压力测量替代负载锁上的多个压力测量设备的能力托和大气切换能力。与传统负载锁设计中使用的压力表相比，901P ***的大气压力测量可以通过更快的循环时间来提高负载锁性能，并防止负载锁被大气污染。901P 结合了绝压和差压测量技术，以提供***的性能和功能。901P 提供获得***的、独立于气体的压力测量范围为 50 -1000 Torr，其精度高于热导传感器。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani? 中的传感器元件由一平方毫米的硅芯片制成，可以在非常小的体积内进行测量。
由于 MicroPirani? 技术，901P 可以读取低至 10 -5的压力Torr，比标准皮拉尼传感器低两个十年。传感器设计限度地减少了对流的影响，因此 901P 可以安装在任何方向而不会影响精度。901P 还具有 1VDC/十倍频的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面进行选择。辅助可选模拟输出用于提供差压测量。901P 具有多达三个可用于过程控制的机械继电器，例如互锁隔离阀和真空泵。每个设***都可以分配给差分压电测量或组合的 MicroPirani?/压电测量。
优势供应MKS阀、控制器、仪表、传送器、流量计
